ПЕРЕЧЕНЬ ИСХОДНЫХ ТРЕБОВАНИЙ, ПРЕДЪЯВЛЯЕМЫХ К ОБОРУДОВАНИЮ:
Установка вакуумного напыления пленок алюминия.
а) метод напыления– магнетронный;
б) толщина пленок алюминия – не менее 10 мкм;
в) производительность – не менее 40 пластин за один цикл;
г) диаметр пластин – 60 мм ;
д) длительность непрерывного процесса напыления – 1 час и более;
е) наличие безмасляной высоковакуумной откачки;
ж) возможность подогрева пластин кремния до 250 градусов;
з) возможность очистки рабочей поверхности пластин ионным пучком или другим методом непосредственно в вакуумной камере;
и) срок поставки и пуска – 2-й кв. 2009г., гарантия – 2 года;
к) поставщик должен иметь стаж деятельности по данному профилю не менее 10 лет и иметь положительные отзывы по работе со стороны предприятий электронной промышленности.
Установка обратного осмоса.
а) комплектность- механические фильтры на 5, 10 и 50 мкм, угольный фильтр с автоматической промывкой, дуплекс с автоматической регенерацией, система дозирования антискалант, система коррекции Рh, модуль обратного осмоса производительностью 2 куб в час.
б) срок поставки и пуска – 2-й кв. 2009г., гарантия – 2 года;
в) поставщик должен иметь стаж деятельности по данному профилю не менее 10 лет и иметь положительные отзывы по работе со стороны предприятий электронной промышленности.
|